MEMS發展趨勢

　　MEMS傳感器一直依賴于使用基于半導體的微加工技術來制造器件，以取代更加復雜、笨重或不敏感的傳感器。未來將有四種趨勢改變MEMS市場格局：

　　1．新興器件：如微鏡和環境組合傳感器

　　2．新應用：如壓力傳感器應用于位置（高度）感測

　　3．顛覆性技術：包括封裝、新材料（如壓電薄膜和300mm／12寸晶圓）

　　4．新的設計：包括NEMS（納機電系統）和光學集成技術

　　中國MEMS傳感器商機

　　整個MEMS傳感器產業鏈，包括研發、設計、代工、封測到應用。MEMS產業鏈將來的投資機會重點應在新型封裝與測試、12寸晶圓、軟件和新興傳感器。

　　1．新的封裝與測試已經成為眾多MEMS傳感器公司的焦點，由于MEMS傳感器的復雜性，封裝占據了整個芯片成本的很大部分，因此未來要降低成本來擴展市場，很大程度上等同于降低封裝成本；其次國內整個測試效率較低，這也是制約MEMS傳感器發展的瓶頸。降低封裝成本、提高測試效率，是亟待解決的難題。

　　2．目前幾乎所有的MEMS傳感器都是由8英寸晶圓產線制造的，不過由于汽車電子與物聯網等需求的不斷攀升，導致生產MEMS傳感器的8英寸產線利用率極高，所以生產MEMS傳感器的12英寸MEMS晶圓制造將在未來幾年成為熱門主題，12英寸晶圓制造將影響整個MEMS傳感器供應鏈，包括設計、材料、設備和封裝等。

　　3．電子產業迫切需要新的MEMS來推動智能產品和物聯網的發展，期待有突破性的新產品不斷出現。新興MEMS傳感器是產業投資的重點方向。

　　4．軟件正成為MEMS傳感器的重要組成部分。隨著傳感器進一步集成，越來越多的數據需要處理，軟件使得多種數據融合成為可能。軟件將是未來的投資機會。

　　物聯網是我國未來十年的核心發展戰略，MEMS傳感器則是物聯網中不可或缺的一環，下一個十年，會涌現出遠比現在主流MEMS傳感器更有市場前景的MEMS產品，期待中國MEMS產業能躋身世界前列。雖然技術商業化周期越來越短，但要堅持工匠精神，穩扎穩打，MEMS行業要有這種精神，用十到十五年的積累，來打造一款精品。

　　突破目前MEMS產業發展瓶頸的一些具體建議：

　　努力提高傳感器（陀螺、加速度等）精度；MEMS廠商要具備小批量、低成本的量產能力，以適應多變的市場；在封裝、多材料復合技術等領域勇于嘗試；

　　無線無源傳感器技術將是一個重點發展方向；

　　封裝在MEMS產品成本中占比較高，因此封裝測試設備和系統以及加工設備和耗材的國產業很重要，MEMS產業發展需要有完整的生態圈。

　　（附）國內 MEMS 主要企業：

　　上海：

　　深迪，矽睿，麗恒，芯敏，微聯，銘動，文襄，天英，巨哥

　　蘇州：

　　明皜，敏芯，雙橋，多維，能斯達，汶灝，圣賽諾爾，希美

　　無錫：

　　美新，樂爾，康森斯克，微奧，杰德，必創，微納，芯奧微，沃浦

　　其他：

　　深圳瑞聲，山東歌爾，河北美泰，山西科泰，鄭州煒盛，北京水木智芯，浙江大立，武漢高德，成都國騰，西安勵德，天津微納芯等。