傾角傳感器作為測量物體相對海平面的角度測量設備，已有100多年以上的歷史了。從傳統的水泡式水平儀，到當前的基于加速度原理或電解液原理以及液體電容原理，已經發展的非常的成熟，產品的精度不斷提高，應用領域也逐漸廣泛和專業，制造廠家也非常的多。但市場上出現的多數傾角傳感器對精度的描述，顯得含糊不清或者存在一定的偏差。

　　一般地說，按照計量法和相關國家/國際標準，對精度的描述有總體性和確定性的描述，但這些描述具有普遍性，是否適合于傾角傳感器領域，值得商榷。

　　我們可以隨處在市場上獲得各種不同的傾角傳感器精度描述的產品或者供應商，大多數是將傾角傳感器的非線性作為傳感器的測量精度，是存在一些偏差的。

　　首先，我們需要分析，影響傾角傳感器的測量精度的因素有哪些，再討論如何確定傾角傳感器的精度的定義。

　　以加速度原理的傾角傳感器為例。它是測量重力加速度在加速度傳感器敏感軸上的分量轉換成角度數據，即傾角值與加速度值成正弦關系。這個原理在很多文獻以及產品說明中給予了充分的說明。

　　從這個角度上理解，只有具有DC響應的加速度計才能測量傾斜角度。實質上，傾角傳感器具有加速度計的屬性，因此研究加速度測量過程中產生的誤差來源，就可以確定傾角傳感器的誤差來源。從眾多的文獻資料中可以發現，加速度計的測量精度與以下指標密切相關：

　　靈敏度誤差、零點偏置、非線性、橫軸誤差、頻率響應、輸入軸非對準性、重復測量精度、垂直軸非對準性、溫度對零點和靈敏度的影響(含漂移和溫度曲線的重復性)、噪聲與噪聲密度等。

　　不難發現，重復測量精度難于補償，取決于核心敏感器件的自身特性;溫度曲線的重復性也取決于核心敏感器件的自身特性，難以通過補償來提高;靈敏度誤差也取決于核心敏感器件的自身特性，但同時與頻率響應關聯;噪聲與噪聲密度可以通過后續電路進行硬件濾波或軟件濾波等方式降低;由于用來作為傾角傳感器的加速度計的頻率響應一般在30Hz左右，經過實際的測試，對靈敏度的影響很小，可以忽略不計。

　　由此可見，作為傾角傳感器的核心敏感部件的加速度計，其橫軸誤差、輸入軸非對準性、垂直軸非對準性、非線性需要計入到傾角測量的誤差因素內。而不能僅對非線性進行補償，而作為傾角傳感器的測量精度。

　　橫軸誤差是指當傳感器在垂直于其靈敏軸方向施加一定的加速度或者傾斜一定的角度時耦合到傳感器的輸出信號上所產生的誤差。如對于測量范圍為±30°的單軸(假定X方向為傾角測量方向)傾角傳感器，在空間垂直于X方向發生10°的傾斜時(此時實際被測量的X方向的傾斜角度保持不變，如為+8.505°)，傳感器的輸出信號會因為這個10°的傾斜而產生額外誤差，這個誤差稱為橫軸誤差。這個額外的誤差因不同的產品而定。當傾角傳感器懂得橫軸誤差為3%FS,產生的額外誤差為3%×30°=0.9°，而傳感器實際輸出的角度簡單估算為9.415°(=8.505°+0.9°)。此時，即使傾角傳感器的非線性誤差達到0.001°,相對橫軸誤差而言，這個非線性誤差可以忽略不計，也就是說，作為傾角傳感器的測量精度，不能不將橫軸誤差計算在內，否則將引起很大的測量錯誤。

　　允許輸入軸不重合度是指傳感器在實際安裝過程中，允許傳感器的水平(Z方向)安裝偏差，該指標實際包含了輸入軸非對準性、垂直軸非對準性兩個方面的誤差。一般地，傾角傳感器在安裝時要求傾斜方向與傳感器的指定邊沿保持平行或者重合，該指標表示可以允許有一定的安裝角度偏差而不影響傳感器的測量精度。當傾角傳感器自身的靈敏軸與實際的傾斜方向不重合時，隨傾斜的角度增大，產生的額外誤差呈正弦變化。實際測試表明，當傾角傳感器自身的靈敏軸與實際的傾斜方向的夾角超過3°，對于±30°量程±0.01°線性誤差的傾角傳感器，所產生的額外誤差會達到±0.3~0.5°，也遠大于非線性誤差。

　　因此，對于傾角傳感器而言，其常溫測量精度應該包含非線性、重復性、遲滯、零點偏置以及橫軸誤差，進行誤差合成的計算公式為：

　　(Δ=±(非線性2+重復性2+遲滯2+零點偏置2+橫軸誤差2)1/2)

　　其他工作原理的傾角傳感器也應該按照同樣的誤差計算方法來確定其精度指標，而不能僅將非線性作為精度。

　　附錄一

　　輝格公司的SST傾角傳感器的核心技術優勢

　　SST傾角傳感器具有良好的角度測量性能，創造性地將橫軸誤差和零點偏置作為測量精度的重要組成部分，而不同于其他一般的傾角傳感器產品，僅將非線性作為傳感器的測量精度。同時，該傳感器為解決用戶的現場安裝困擾以及實際的傾斜方向不可能與傾角傳感器的靈敏方向完全平行或重合的實際現狀，特別地給出了“允許輸入軸不重合度”的參數，用戶通過這個參數，可以準確地知道如何安裝以及減少安裝時間，并且同樣能獲得很好的測量精度。

　　輝格公司的SST傾角傳感器將“橫軸誤差”與“允許輸入軸不重合度”實現了組合應用，極大地解決了在任意角度點實現真正準確的傾斜測量：

　　1、物體的實際傾斜不可能完全按照嚴格的X和Y正交軸向發生傾斜，如機械部件的間隙、實際傾斜軸難以確定等因素決定了實際的傾斜角度不在嚴格的X、Y正交方向上。當X軸向發生傾斜時，如果傳感器的橫軸誤差過大，則會使Y方向的傾斜角度數據發生變化，而實際上，Y軸方向可能沒有真正發生傾斜，反之亦然。因此，針對普通的傾角傳感器的3~5%的橫軸誤差，即使線性度再高，其實際的測量精度也將在3~5%左右，而不是線性度數據。

　　2、如傳感器在實際安裝過程中，沒有“允許輸入軸不重合度”數據，簡單的目測是難以獲得真正準確的傾斜數據。過大的傳感器靈敏軸與實際運動傾斜方向的偏差角度，將會使傳感器的輸出上額外產生一個“正弦誤差”疊加到輸出數據上。隨著傾斜角度的增大，誤差也逐漸增大。

　　輝格公司的SST系列傾角傳感器良好地解決了以上的實際問題，是真正實現高精度傾角測量的產品。

　　附錄二

　　輝格公司在傾角測量方面的核心能力介紹

　　1、我們的任何一款傾角傳感器的外殼都經過模態測試，不是簡單地將傳感器的核心部件安裝在任意外殼內進行封裝后就成為產品的。

　　2、我們的任何一款傾角傳感器的PCBA板是經過模態測試，從根本上解決振動所引起的諧振對傳感器濾波的影響。

　　3、我們的任何一款傾角傳感器的測試是嚴格按照國內和國際的相關標準執行，包括GB、GJB、MIL、IEC、ISO、EN等。

　　4、我們在傾角測量領域獲得近20項各種發明專利、實用新型專利、外觀專利與軟件著作權。

　　5、我們的任何一款傾角傳感器采用專利的自動測試技術，減少人為干擾對質量的影響，并保持質量的一致性。

　　6、我們能提供世界上精度最高的傾角傳感器，可以達到±5角秒@-40~85℃全溫度內的綜合精度，12個月的零點穩定性達到±3.6角秒。我們還在進一步提高中。

　　7、我們是世界第一個將傾角傳感器技術與ipad、iPhone結合一起的供應商，大大提高用戶的便利性和節省成本。

　　8、我們是世界第一個提出“降低用戶使用成本”的傾角傳感器供應商，100余種配件極大地降低了用戶的施工和調試時間與成本。

　　9、我們是世界上能提供傾角傳感器品種最多的并擁有自己研發能力的企業，可以為客戶定制絕大多數特殊要求的傾角測量產品。我們能提供近30種各類工業通用和軍事/航空航天專用接口。

　　10、我們也是世界上專業從事傾角傳感器最大的企業，近50人的規模可以與快速為客戶提供各種服務。