儀器由一測(cè)量頭和一轉(zhuǎn)向棱鏡組成，用于圓柱形工件的非接觸測(cè)量三維表面輪廓和微觀結(jié)構(gòu)測(cè)量，適合在研究，開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)中使用。測(cè)量頭設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單精巧，可以提供最佳的長(zhǎng)向和橫向分辨率。它相對(duì)免維護(hù)和方便自動(dòng)測(cè)量的功能使其適合在生產(chǎn)過(guò)程使用。適于在很短時(shí)間間隔內(nèi)高精度和定量測(cè)量表面粗糙度特征、氣孔、劃傷、涂層缺陷等，即可在孔內(nèi)部，也可在小的圓柱工件外表面進(jìn)行。有自動(dòng)瞄準(zhǔn)功能的測(cè)量頭安裝在一固定位置，而工件或偏光鏡移動(dòng)至與光學(xué)軸共線。測(cè)量區(qū)的長(zhǎng)度決定了工件或偏光鏡的驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度。這種運(yùn)動(dòng)是通過(guò)用一個(gè)單獨(dú)的提升臺(tái)實(shí)現(xiàn)的。所有部件包括測(cè)量頭，提升臺(tái)和數(shù)據(jù)采集都是由電腦控制的，可以自動(dòng)進(jìn)行重復(fù)測(cè)量。測(cè)量數(shù)據(jù)根據(jù)工件直徑修正后可以以笛卡兒和極坐標(biāo)顯示，并以用戶選定的程序評(píng)估。

主要用途：

小的圓拄和襯套工件內(nèi)外表面三維輪廓測(cè)量

涂層質(zhì)量控制
探測(cè)識(shí)別孔的外表面

主要特點(diǎn)：

非接觸高精度測(cè)量
在生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)和線上使用
相對(duì)免維護(hù)
適合產(chǎn)品研究開(kāi)發(fā)的理想儀器
垂向（對(duì)被測(cè)物而言是徑向）分辨率可達(dá)1nm
橫向（對(duì)被測(cè)物而言是軸向）分辨率可達(dá)10µm
結(jié)構(gòu)緊湊、耐用

主要優(yōu)點(diǎn):

快速，非接觸精密測(cè)量小孔和圓柱形工件的微觀結(jié)構(gòu)，粗糙度，加工標(biāo)記，缺陷，劃傷和圓柱形工件的外表面三維特征數(shù)據(jù)

笛卡兒坐標(biāo)或者極坐標(biāo)

測(cè)量和評(píng)估物體特定表面特征，包括涂層和磨損

技術(shù)數(shù)據(jù)：

測(cè)量孔直徑mm: 5-50mm

垂向驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度: 沿工件軸線 可按用戶要求

定制測(cè)量范圍祄: 約50

分辨率祄: 最大1

Y向分辨率祄: 約1

尺寸mm: 約 320mm x 320mm x 380mm

重量 kg: 約5kg

測(cè)量時(shí)間s: 1-20s