中頻磁控鍍膜設備
產品型號：無
廠商性質：生產廠商
公司名稱：東莞市匯成真空科技有限公司
地 址：東莞市大嶺山鎮顏屋管理區
聯 系 人：何乃霞
聯系電話：13423356872
| 型號 | JTL-1090 | JTL-1110 | JTL-1312 | JTL-1613 |
| 真空室尺寸 | Φ 1000Χ900mm | Φ 1100Χ1000mm | Φ 1300Χ1200 mm | Φ 1600Χ1300 mm |
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鍍膜方式及主要配置 |
3個電弧+平面矩形陰極2對 | 6個電弧+圓柱陰極2對+平面矩形陰極1對 | 6個電弧+圓柱陰極4對+平面矩形陰極1對 | 8個電弧+圓柱陰極8對+平面矩形陰極1對 |
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鍍膜種類 |
金屬膜，介質膜，化合物膜，反應膜，多功能層次膜 | |||
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電源 |
電弧電源，真空磁控電源，中頻磁控電源，脈沖偏壓電源，離子源電源 | |||
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真空室結構 |
立式前（單）開門，后置抽氣系統，雙層水冷 | |||
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真空系統組成 |
分子泵（擴散泵）+羅茨泵+機械泵 | |||
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極限真空 |
8.0Χ10-4 | |||
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抽氣時間 |
大氣抽至3Χ10-3Pa≤15min | |||
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工件運動方式 |
公 /自轉，變頻調速 | |||
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工件烘烤溫度 |
常溫到 350oC可調可控 | |||
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控制方式 |
全自動化控制 PC+PLC/PC+HMI | |||
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備注 |
該設備可按客戶產品及特殊工藝要求訂做 | |||
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