多功能離子鍍膜設備
產品型號:無
廠商性質:生產廠商
公司名稱:東莞市匯成真空科技有限公司
地 址:東莞市大嶺山鎮顏屋管理區
聯 系 人:何乃霞
聯系電話:13423356872
型號 | JTL-800 | JTL-1000 | JTL-1250 |
真空室尺寸 | Φ800Χ1000mm | Φ1000Χ1000mm | Φ1250Χ1100mm |
鍍膜方式及主要配置 |
六個多弧靶 +一套圓柱靶+一套平面矩形磁控濺射靶 | 八個多弧靶 +一對孿生(中頻)磁控濺射靶+一套平面矩形磁控濺射靶 | 十二個多弧靶 +二套平面矩形磁控濺射靶+一對孿生(中頻)磁控濺射靶 |
電源 |
電弧電源、直流磁控電源、中頻磁控電源、燈絲電源、脈沖電源、線性離化源 | ||
工藝氣體控制 |
質量流量計 +電磁陶瓷閥 | ||
真空室結構 |
立式側(單)開門結構,后置抽氣系統,雙層水冷 | ||
真空系統組成 |
分子泵 +羅茨泵+機械泵(5.0Χ10-5 pa),擴散泵+羅茨泵+機械泵( 5.0Χ10-4pa) | ||
工件烘烤溫度 | 常溫到 500度可調可控(PID控溫),輻射加熱 | ||
工件運動方式 | 公自轉變頻調速, 0-20轉/分 | ||
測量方式 | 數顯復合真空計:測量范圍從大氣至 1.0Χ10-5pa) | ||
控制方式 | 手動 /自動/PC/PLC+HMI/PC四種控制方式可選 | ||
備注 | 以上設備可按客戶實際產品及特殊工藝要求設計訂做 |