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產品介紹  
SQ273-13103 是德國 First Sensor 推出的一款硅基 MEMS 壓阻式壓力傳感芯片，基于公司自有的 STARe 技術平臺，將惠斯通電橋、溫度補償電路與微型封裝集成于一體。芯片尺寸約 1.25 mm × 1.25 mm × 0.8 mm，采用 DIP-8 金屬引腳外殼，可直接焊接到 PCB 或通過柔性電纜引出。器件出廠前已在潔凈室內完成激光修調，提供模擬電壓輸出或 I²C 數字接口兩種版本，可測量表壓、差壓或絕壓，典型量程 5 inH?O 至 30 psi，具體分檔可按訂單定制。SQ273-13103 主要面向醫療、工業及環境監控設備，尤其適合空間受限、要求長期漂移小、響應快的場景。

功能特點  
芯片內部為硅-玻璃雙層結構，上層硅片通過各向異性腐蝕形成薄膜，薄膜上擴散四個壓敏電阻組成惠斯通電橋；玻璃基板形成參考腔并支撐焊盤，整體通過陽極鍵合實現晶圓級密封。電橋輸出經片上 EEPROM 存儲的系數進行一階溫度補償，零點和靈敏度溫漂分別控制在 ±0.05 %FS/°C 與 ±0.15 %FS/°C 以內。模擬版本在 5 V 供電時滿量程輸出約 100 mV，數字版本通過 I²C 提供 16 位壓力與 11 位溫度數據。芯片響應時間（10 %→90 % 階躍）小于 1 ms，可滿足高頻動態測量。外殼為鍍金銅合金，與硅芯片之間通過金絲球焊連接，氣密性滿足 MIL-STD-883 方法 1014 檢漏要求。器件不含運動部件，抗震 40 g，適用于振動環境。

選型指南  
設計者在選型時需先確認壓力類型與量程：SQ273-13103 提供差壓、表壓與絕壓三種版本，差壓型需保證參考端與測量端介質一致；量程若處于 0–5 inH?O 微壓段，應選低壓分檔；若系統最大壓力可能超出 30 psi，則需選更高量程型號或加機械限壓裝置。電源方面，模擬輸出版供電 2 V–10 V，數字版 3 V–5.5 V，電源紋波建議小于 50 mV。介質需為非腐蝕性、非離子型干燥氣體；若存在水汽或油霧，須在前端加過濾器或干燥罐。安裝時芯片需垂直于重力方向以減少零點漂移；若 PCB 空間緊張，可要求裸片供貨。對于醫療應用，可訂購 EN ISO 13485 批次，附帶可追溯報告。

技術參數  
量程：5 inH?O 至 30 psi（可定制）  
精度：±0.25 %FS（典型）  
零點溫漂：±0.05 %FS/°C  
靈敏度溫漂：±0.15 %FS/°C  
工作溫度：−40 °C 至 +85 °C  
補償溫度：0 °C 至 +50 °C（可擴展至 70 °C）  
儲存溫度：−40 °C 至 +125 °C  
供電電壓：模擬 2 V–10 V，數字 3 V–5.5 V  
輸出：模擬 100 mV（典型），或 I²C 16-bit 數字  
響應時間：< 1 ms  
橋阻：約 5 kΩ  
過載壓力：2 倍額定壓力  
爆破壓力：3 倍額定壓力  
封裝：DIP-8 金屬殼，引腳間距 2.54 mm  
重量：約 0.3 g

產品尺寸  
芯片本體 1.25 mm × 1.25 mm × 0.8 mm，DIP-8 外殼整體 9.5 mm × 6.4 mm × 4.2 mm，引腳長 3.6 mm，可直插或折彎 SMT 安裝。頂部激光標記型號與量程代碼，便于目視識別。

應用領域  
SQ273-13103 廣泛用于醫療設備，如呼吸機、麻醉機、氣腹機、血液透析機，用于監測氣道、血路或灌注壓力；在工業自動化中，可用于潔凈室差壓、過濾器堵塞檢測、燃氣壓力監控；實驗室與樓宇自動化領域，也將其用于微壓風速、液位換算等場景。