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      索尼投資600億日元強化CMOS傳感器生產

        據來自日本的消息,7月20日,日本索尼半導體公司對外公開了該公司九州熊本技術中心的CMOS傳感器工廠的一條生產線,這是該公司2007年春季開始使用300mm晶圓量產CMOS傳感器2號廠房。
        目前,索尼正在對自行生產的半導體產品進行甄別。CMOS傳感器、CCD等攝像元件由于直接關系到該公司產品的性能,而且能夠在制造工藝上有別于競爭對手,因此被定位于需要強化生產設備的部分。該公司已經表示,計劃在2007年度至2009年度,對此次生產線投入600億日元進行強化及改進。
        索尼計劃提高高速讀取CMOS傳感器的生產比例,向市場投放具有CCD無法實現的特點的數碼相機產品。為此,該公司今后的設備投資將主要面向CMOS傳感器。但是,CCD生產線與CMOS傳感器生產線約有8成的生產設備可以共用。因此,在建造工廠時,索尼把各生產線專用設備的采用量控制到了最小限度,建成了能夠根據市場行情改變生產內容的體制。
        此次公開的2號廠房的特點是在前期工序的生產線中采用了自動化生產管理系統,可以實現晶圓搬運及設備操作的自動化、檢査工序的自動化、設備異常及工藝變更的自動檢測、處理情況向工藝條件的回饋、靈活的生產計劃制定等。這套名為“設備工程系統(Equipment Engineering System:EES)”的生產管理系統能夠使用傳感器,對以前樣品抽樣檢測中檢測過的高頻及直流電源、板溫度、真空壓力的誤差實時監控。而且,2號廠房還能夠利用可通過測量數據計算設備參數的系統—“高級元件控制”(Advanced_Device_Control:ADC)”來控制裝置內部加熱器的開關和晶圓向裝置的搬入/搬出。利用這些自動管理系統,可以事先察覺重大問題及工藝處理變動導致的成品率下降,并制定對策。目前系統尚未完全啟用,正在進行安裝。
        后工序多采用自產裝置也是索尼工廠的特點,這也反映了該公司在最初量產攝像元件時,由于沒有攝像元件制造裝置和檢査裝置,必須自行開發的歷史。

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