國內首臺自主產權“光刻機”在合肥問世

分類：行業資訊日期：2007-12-28 00:00:00 來源：

　　國內首臺具有世界領先水平、擁有完全自主知識產權的直寫式光刻機昨日在合肥面世，標志著我國亞微米級光刻機完全依賴進口的局面將被打破。
　　光刻機是生產電子芯片的最關鍵設備之一，電子芯片內的電路圖案都是由光刻機產生的。中國是全球集成電路的最大消耗國，據統計所用集成電路占全球的24%以上，但是國產集成電路國內市場自給率卻少于10%，因此，光刻機被國家“十一五”發展規劃明確定義為重點制造裝備。據了解，合肥生產的直寫式光刻機分辨率達到亞微米級，與目前國際上同類產品相比，已經達到了世界領先水平,可應用于半導體行業、生物、醫藥、光電、太陽能電池、新能源及薄膜電路等不同領域。開發該產品的芯碩半導體(中國)有限公司將進行大規模生產，一期工程將于明年9月份正式完工。

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