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      國機集團“高性能硅電容壓力傳感器”項目填補國內(nèi)空白

      國機集團所屬沈陽儀表院承擔的沈陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展計劃項目“高性能硅電容壓力傳感器”近日順利通過驗收。

        該項目采用先進的微電子和微機械加工相結(jié)合的工藝技術(shù),在硅電容傳感器設計、制造工藝技術(shù)、傳感器封裝結(jié)構(gòu)等方面具有創(chuàng)新性,解決了硅電容傳感器研制的工藝技術(shù)難題,開發(fā)研制出完全擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的新型高性能硅電容差壓傳感器產(chǎn)品,產(chǎn)品精度優(yōu)于0.075%FS,技術(shù)水平達到國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流。

        項目建成了年生產(chǎn)能力一萬臺的硅電容差壓傳感器生產(chǎn)線,實現(xiàn)了產(chǎn)品的系列化生產(chǎn),并首次實現(xiàn)智能變送器產(chǎn)品核心傳感器的國產(chǎn)化配套,打破了國外的技術(shù)封鎖,填補了國內(nèi)空白。同時,作為上游核心器件,該項研究帶動了傳感器、變送器及相關(guān)儀表產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,解決了有表無芯的問題,有效地支撐了高端裝備制造產(chǎn)業(yè)鏈建設。

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