40臺(tái)烤箱(芯片老化)溫度專用監(jiān)視記錄系統(tǒng)

一、概述：此系統(tǒng)是對(duì)半導(dǎo)體芯片加工過(guò)程中，需要對(duì)出產(chǎn)的芯片進(jìn)行老化檢驗(yàn)這一工藝而開(kāi)發(fā)的專用系統(tǒng)。它全自動(dòng)對(duì)40臺(tái)烤箱(芯片老化，共240個(gè)溫度點(diǎn))的溫度按年月日同時(shí)進(jìn)行24小時(shí)全天采集監(jiān)視記錄，值班人員可隨時(shí)根據(jù)烤箱的溫度數(shù)據(jù)情況確認(rèn)當(dāng)前數(shù)據(jù)是否異常，并且可以保存確認(rèn)記錄，以便今后查看、打印歷史記錄。運(yùn)用此系統(tǒng)，用戶可以大大提高生產(chǎn)效率，減輕工人的工作量，同時(shí)，對(duì)公司的產(chǎn)品質(zhì)量的提高提供了一手的原始數(shù)據(jù)。目前已經(jīng)有4套系統(tǒng)在日月光(上海)半導(dǎo)體的三個(gè)車間運(yùn)行，溫度傳感器采用K型熱電偶，測(cè)溫為0--250℃，溫度誤差±2℃。更新速度1次/秒，保存速度1次/分。

二、.技術(shù)指標(biāo)：
烤箱數(shù)：40臺(tái)
每個(gè)烤箱溫度點(diǎn)：6個(gè)
總溫度點(diǎn)：40x6=240個(gè)
熱電偶類型：J、K(默認(rèn))、T、E、R、S、B、N
AD分辨率：24位
更新速度：1次/秒
采集模塊：采用本公司ZP1018模塊，共用40個(gè)模塊
主機(jī)模塊：采用本公司ZP1090模塊，共用5個(gè)模塊
每個(gè)主機(jī)模塊帶8個(gè)ZP1018模塊
通信模式：HEX模式（本公司特有模式，推薦用）
通信波特率：9600bps
通訊接口：RS485接口，2線制
通信距離：1200米，加中繼器可以更長(zhǎng)距離
電壓精度等級(jí)：±0.05% FSR或更高
溫度精度等級(jí)：根據(jù)用戶的熱點(diǎn)偶的精度等級(jí)確定
系統(tǒng)工作溫度：-20℃～70℃