L481111/RZQ立式真空燒結退火爐

該真空燒結退火爐是生產半導體器件和磁性材料燒結、退火工序中的重要設備。

主要技術指標：

1、工作溫度：400～1250℃

2、單點溫度控制精度≤±1℃/24h

3、恒溫區長度：≥200mm/±1℃

4、升溫功率：≤5KVA

5、升溫時間：（室溫至1050℃)≤75min

6、保溫功率：≤3KVA

7、重新定值重復性：≤±1℃

8、重開機重復性：≤±1℃

冷態真空度：≤5 x 10-3Pa（打開擴散泵門后15min）

9、爐體傳動升降分：自動及點動，速度無級調速，自動燒結燒結為0～30min

10、真空室尺寸：φ80㎜～φ300mm

11、設備外形尺寸：1703 x 703 x 2450 (mm)(長 x 寬 x 高）

12、重量：約600Kg

13、工作條件：

(1)環境溫度：10～45℃

(2)相對濕度：≤85%

(3)電網電壓：220V ± 10% ～ 380V