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      聯(lián)電45納米SRAM芯片明年試生產(chǎn)

         聯(lián)電已突破關(guān)鍵的45納米工藝障礙,生產(chǎn)出了單元尺寸小于0.25平方微米的SRAM芯片。聯(lián)電計(jì)劃明年試生產(chǎn)45納米芯片。該公司表示,與其65納米工藝相比,新式45納米工藝的6晶體管SRAM單元尺寸縮小了50%,性能提高了30%.隨著芯片設(shè)計(jì)師的注意力轉(zhuǎn)向45納米,他們將需要解決設(shè)計(jì)規(guī)范縮小30%的問(wèn)題。他們還必須面對(duì)多種工藝變化,并磋商棘手的制造缺陷。定時(shí)、功率、信號(hào)完整性、漏電流、熱梯度和可靠性問(wèn)題也將繼續(xù)存在。象臺(tái)積電一樣,聯(lián)電也采用了193納米沉浸光刻掃描儀。
        
         聯(lián)電表示,該芯片采用聯(lián)電獨(dú)立發(fā)展的邏輯制程,在12層重要層中使用復(fù)雜的浸潤(rùn)式微影術(shù),并且結(jié)合超淺接點(diǎn)技術(shù)、遷移率提升技術(shù)以及超低介電值技術(shù)(k=2.5)。因?yàn)楸銛y式電子產(chǎn)品對(duì)節(jié)省電源的需求日益提升,最低限度的電壓供給功能對(duì)45納米制程來(lái)說(shuō)非常重要。除此之外,透過(guò)使用測(cè)試工具上內(nèi)建的選擇性電路,更可以將最低限度電壓供給提升至最佳狀態(tài)。聯(lián)電的65納米制程目前已有客戶(hù)采用,45納米制程的研發(fā)則于該公司在南科的12寸晶圓廠進(jìn)行。迄今為止,已有數(shù)家廠商披露了各自的45納米工藝的細(xì)節(jié),包括英特爾、IBM、臺(tái)積電和德州儀器等。臺(tái)灣地區(qū)方面除聯(lián)電外,臺(tái)積電也表示45納米工藝浸潤(rùn)式微影技術(shù)缺陷密度目前已達(dá)到零,最快下半年進(jìn)入投產(chǎn)。日前特許半導(dǎo)體、IBM、三星電子(Samsung Electronics)與英飛凌(Infineon)更聯(lián)合宣布,位于IBM紐約12寸晶圓廠制造的第一款45納米工藝芯片已進(jìn)入tape out,三星電子更表示同步在自家12寸廠導(dǎo)入45納米工藝,準(zhǔn)備提前迎接45納米工藝時(shí)代的來(lái)臨。而特許半導(dǎo)體受惠結(jié)盟效應(yīng),技術(shù)藍(lán)圖也大幅逼近臺(tái)積電。 
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