德國銅絲棉ERNST 250g 精細(xì)絲紋
產(chǎn)品型號:ERNST
廠商性質(zhì):供應(yīng)商
公司名稱:友定貿(mào)易(上海)有限公司
地 址:上海市嘉定區(qū)澄瀏公路52號39幢2樓
聯(lián) 系 人:周凡
聯(lián)系電話:19101779280
公司類型:供應(yīng)商
主營產(chǎn)品: 風(fēng)向標(biāo) 、柱塞泵 、光源板 、分配器 、電阻器 、控制箱 、溫度計(jì) 計(jì)量泵 、計(jì)量閥 、單向閥 、減速機(jī) 、齒輪箱 、指示器 、電磁閥
所在地區(qū):上海市 上海市
注冊時(shí)間:2024-08-12
德國ERNST 250g精細(xì)絲紋銅絲棉是一款專為高精度表面處理與半導(dǎo)體工藝設(shè)計(jì)的超細(xì)拋光材料,由德國ERNST公司采用精密纖維化技術(shù)生產(chǎn),以高純度電解銅(純度≥99.95%)為原料,通過特殊拉絲與編織工藝制成三維網(wǎng)狀纖維結(jié)構(gòu),兼具柔軟性、高導(dǎo)熱性與超低金屬污染特性,適用于半導(dǎo)體晶圓拋光、金屬精密加工、珠寶光學(xué)器件表面處理等對潔凈度與平整度要求極高的場景。以下為詳細(xì)資料:
1. 產(chǎn)品概述
ERNST 250g精細(xì)絲紋銅絲棉以超細(xì)銅纖維(直徑≤50μm)為核心,通過精密編織形成多孔隙、高彈性的纖維網(wǎng)絡(luò),其核心功能是通過物理摩擦與化學(xué)協(xié)同作用,去除材料表面的微粒、氧化層或工藝殘留物,同時(shí)保留微觀結(jié)構(gòu)完整性。250g規(guī)格設(shè)計(jì)適合小批量精密加工或?qū)嶒?yàn)室級應(yīng)用,尤其適配半導(dǎo)體制造、航空航天等對污染控制嚴(yán)苛的行業(yè)。
2. 核心特性
2.1 材質(zhì)優(yōu)勢
超純銅基材:采用電解銅(純度≥99.95%),金屬雜質(zhì)(如鐵、鋅、硫)含量極低(≤0.005%),避免拋光過程中引入污染,適配半導(dǎo)體行業(yè)對金屬殘留的嚴(yán)苛要求(如≤0.01ppm)。
延展性與導(dǎo)熱性:銅纖維柔軟且不易斷裂,可適應(yīng)復(fù)雜表面形貌(如晶圓臺階、珠寶雕刻紋路),減少對基材的過度切削;同時(shí)導(dǎo)熱性優(yōu)異(385W/(m·K)),拋光過程中產(chǎn)生的熱量可快速擴(kuò)散,避免局部過熱導(dǎo)致材料變形或相變。
2.2 纖維結(jié)構(gòu)優(yōu)勢
精細(xì)絲紋設(shè)計(jì):纖維表面經(jīng)過特殊蝕刻處理,形成微米級絲紋結(jié)構(gòu),增強(qiáng)拋光時(shí)的切削力與容屑能力,同時(shí)減少纖維脫落風(fēng)險(xiǎn)(顆粒數(shù)≤5顆/cm²),符合SEMI E12.1標(biāo)準(zhǔn)。
三維網(wǎng)狀空隙:高孔隙率(≥70%)設(shè)計(jì)可高效容納拋光產(chǎn)生的微粒(如硅屑、金屬殘留)與拋光液,減少堵塞風(fēng)險(xiǎn),延長單次使用時(shí)長(通常可處理5~8片6英寸晶圓)。
2.3 工藝適配性
半導(dǎo)體專用:適配化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)工藝,用于銅互連層、鎢栓塞、低k介質(zhì)等薄膜的平坦化處理,實(shí)現(xiàn)全局平整度(非均勻性≤3%),滿足先進(jìn)制程(如7nm、5nm)的需求。
金屬精密加工:適用于不銹鋼、鈦合金、鎳基合金等金屬的鏡面拋光,去除切割或研磨殘留的變形層,表面粗糙度可達(dá)Ra≤0.01μm。
珠寶光學(xué)拋光:對貴金屬(如黃金、鉑金)或?qū)毷ㄈ玢@石、藍(lán)寶石)表面進(jìn)行精細(xì)拋光,去除加工痕跡,提升光澤度與光學(xué)性能。
3. 應(yīng)用場景
3.1 半導(dǎo)體制造
晶圓拋光:在背磨、CMP等工藝中,去除硅晶圓背面的殘留物或薄膜表面的凸起,控制厚度均勻性(±0.5μm),適配布魯納克、AMAT等半導(dǎo)體設(shè)備的拋光需求。
先進(jìn)封裝:對硅通孔(TSV)、2.5D/3D封裝中的重布線層(RDL)進(jìn)行拋光,消除臺階覆蓋問題,提升導(dǎo)電性與可靠性。
3.2 金屬精密加工
模具拋光:對注塑模具、壓鑄模具的型腔表面進(jìn)行拋光,去除電火花加工(EDM)殘留的再鑄層,提升模具壽命與制品表面質(zhì)量。
航空航天零件:對渦輪葉片、燃燒室等高溫合金部件的表面進(jìn)行拋光,去除氧化皮或熱處理殘留,確保尺寸精度與疲勞強(qiáng)度。
3.3 珠寶與光學(xué)器件
貴金屬拋光:對黃金、鉑金首飾的雕刻紋路或焊接點(diǎn)進(jìn)行拋光,去除加工痕跡,提升光澤度與佩戴舒適性。
光學(xué)元件處理:對棱鏡、透鏡等光學(xué)器件的表面進(jìn)行超精細(xì)拋光,降低表面粗糙度(Ra≤0.005μm),提升光透過率與成像質(zhì)量。
4. 使用方法
4.1 預(yù)處理準(zhǔn)備
基材固定:將待拋光基材(如晶圓、金屬塊、珠寶)通過真空吸盤或載片臺固定在拋光機(jī)上,確保表面水平且無翹曲。
拋光液配置:根據(jù)工藝需求選擇拋光液(如二氧化硅懸浮液、氨水-過氧化氫混合液),并調(diào)節(jié)pH值與濃度,確保與銅絲棉的化學(xué)兼容性。
4.2 拋光操作
設(shè)備選擇:適配半導(dǎo)體專用拋光機(jī)(如Logitech、布魯納克)、金屬精密拋光機(jī)或珠寶拋光機(jī),搭配聚氨酯拋光墊與銅絲棉,設(shè)置拋光參數(shù)(壓力、轉(zhuǎn)速、時(shí)間)。
操作步驟:
潤濕材料:將銅絲棉浸泡在拋光液中,確保纖維充分潤濕,減少拋光過程中的摩擦熱量。
施加壓力:以均勻、低壓力(通常5~15kPa)進(jìn)行圓周運(yùn)動,避免局部過度施力導(dǎo)致基材變形或拋光不均。
時(shí)間控制:單次拋光時(shí)間建議為30~90秒,定期通過在線檢測(如光學(xué)干涉儀、粗糙度儀)監(jiān)控表面狀態(tài),直至達(dá)到工藝要求。
4.3 后續(xù)處理
清洗:拋光完成后,用去離子水(電阻率≥18MΩ·cm)或?qū)S们逑磩_洗基材表面,去除殘留的拋光液與微粒,避免金屬污染或氧化。
干燥:用高純氮?dú)廨p吹表面或通過旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)處理,避免水漬殘留影響后續(xù)工藝或外觀質(zhì)量。
5. 優(yōu)勢總結(jié)
超低污染與高潔凈度:超純銅材質(zhì)與精細(xì)絲紋結(jié)構(gòu)確保拋光后表面金屬殘留與顆粒數(shù)極低,適配半導(dǎo)體行業(yè)對潔凈度的嚴(yán)苛要求。
高精度與均勻性:纖維狀結(jié)構(gòu)提供多向切削,配合低壓力工藝,實(shí)現(xiàn)納米級表面粗糙度控制(Ra≤0.01μm),適配先進(jìn)半導(dǎo)體節(jié)點(diǎn)與精密金屬加工的需求。
工藝兼容性強(qiáng):適配CMP、干法/濕法蝕刻后處理、珠寶拋光等多種工藝,且與主流拋光液兼容,降低工藝調(diào)整成本。
德國品質(zhì)保障:ERNST公司精密制造工藝確保產(chǎn)品批次間穩(wěn)定性,250g規(guī)格適合小批量研發(fā)或生產(chǎn)線調(diào)試,降低耗材成本。
通過德國ERNST 250g精細(xì)絲紋銅絲棉,用戶可高效完成高精度表面的拋光與處理,為半導(dǎo)體制造、金屬精密加工、珠寶光學(xué)器件等領(lǐng)域提供可靠支持,尤其適合對表面潔凈度、平整度與低損傷有極高要求的場景。
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